М.В. Балаханов
ФГУП «ВНИИФТРИ», Менделеево, Московская обл.
balah@vniiftri.ru
«Альманах современной метрологии» № 1 (6) 2016, стр. 138–151
УДК 006.89+574
В статье освещается разработка стандартов на чистые помещения, классифицируемые по максимально допустимой концентрации частиц в воздухе. Описывается ситуация с согласованием и введением новых версий международных стандартов ИСО, утвержденных в конце 2015 года, и с гармонизацией национальных стандартов с новыми версиями международных. Разъясняется важность проведения калибровки или поверки средств измерений счетной концентрации частиц, используемых при аттестации и мониторинге запыленности чистых помещений, в соответствии с государственной поверочной схемой.
Ключевые слова: чистые помещения, мониторинг чистоты, стандарты ИСО, эталон, калибровка, поверка.
Цитируемая литература
1. ОСТ 11 14.3302-87. Общие требования электронной гигиены к чистым помещениям.
2. ГОСТ Р 50766-95. Помещения чистые. Классификация. Методы аттестации. Основные требования.
3. Балаханов М.В., Федотов А.Е. Высоким технологиям — стандарт высокого уровня // Стандарты и качество, 1996, № 2, с. 39–42.
4. Balakhanov M.V., Fedotov A. Development of the Russian Federation Standard «Clean Rooms. General Requirements» 12th Int. Symp. on Contamination Control, October 10–14, 1994, Yokohama, Japan, ICCCS JACA, Proc., A-25, p. 135–138, http://www.gbv.de/dms/tib-ub-hannover/19081814X.pdf.
5. Balakhanov M.V., Fedotov A. Russian State Standard on Cleanrooms, 13th Int. Symp. on Contamination Control, Hague, Netherlands, 16–20 Sept. 1996, ICCCS, VCCN, Proc. Sess.XX, p. 644–646, http://www.gbv.de/dms/tib-ub-hannover/24210438X.pdf.
6. Федотов А.Е. ISO 14644-1:2015 — Шаг вперед или два шага назад? // Технология чистоты, №4, 2015, с. 9–20.
7. ГОСТ Р ИСО 21501-4 – 2012. Получение распределения частиц по размерам. Оптические методы оценки отдельных частиц. Счетчики частиц в воздухе для чистых зон, работающие на принципе рассеяния света (ISO 21501-4: 2007 Determination of particle size distribution — Single particle light interaction methods — Part 4: Light scattering airborne particle counter for clean spaces, Part 4).
8. Лесников Е.В., Карпов О.В., Балаханов М.В., Балаханов Д.М., Данькин Д.А. Государственный первичный эталон единиц дисперсных параметров аэрозолей, взвесей и порошкообразных материалов ГЭТ 163–2010 // Измерительная техника, 2013, № 1, с. 3–6.
Статья в Научной электронной библиотеке eLIBRARY.
Оформить подписку и купить печатные номера журнала у издателя.