И.Е. Ковбасюк, О.Ю. Маслаков, М.Н. Шахов
НИЦ «Курчатовский институт», Москва, Россия
kovbasyuk.ivan@gmail.com
«Альманах современной метрологии» № 1 (33) 2023, стр. 303–310
УДК 681.2-79
Аннотация. В статье рассматриваются практические аспекты калибровки счетчиков аэрозольных частиц по стандарту ГОСТ Р ИСО 21501-4. Авторы делятся накопленным опытом и объясняют, с какими сложностями можно столкнуться при проведении процедуры, описанной в стандарте, как их избежать и как исправить. Статья может быть полезной как для специалистов, начинающих знакомство со стандартом, так и для пользователей счетчиков чстиц, желающих узнать больше о практических метрологических аспектах данных приборов, не вдаваясь при этом в тонкости.
Ключевые слова: счетчик аэрозольных частиц, ГОСТ Р ИСО 21501-4, калибровка счетчиков частиц.
Цитируемая литература
1. ГОСТ Р ИСО 21501-4:2012. Получение распределения частиц по размерам. Оптические методы оценки отдельных частиц. Часть 4. Счетчики частиц в воздухе для чистых зон, работающие на принципе рассеяния света.
2. ISO 21501-4:2018. Determination of particle size distribution — Single particle light interaction methods. — Part 4: Light scattering airborne particle counter for clean spaces.
3. ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц. — М.: Стандартинформ, 2017. — 36 с.
4. ISO 14644-1 2015 Cleanrooms and associated controlled environments. — Part 1 Classification of air cleanliness by particle concentration.
5. JSA — JIS B 9921:2010. Light scattering airborne particle counter for clean spaces.
Статья поступила в редакцию: 13.12.2022 г.
Статья прошла рецензирование: 19.09.2022 г.
Статья принята в работу: 23.01.2023 г.
Статья в полном объеме в Научной электронной библиотеке eLIBRARY.
Оформить подписку и купить печатные номера журнала у издателя.