М.В. Балаханов
ФГУП «ВНИИФТРИ», Менделеево, Московская обл.
«Альманах современной метрологии» № 2 (14) 2018, стр. 122–149
УДК 006.91:544:77
Рассмотрены вопросы обеспечения единства измерений как общих, так и специальных параметров чистых помещений и технологических сред. Использование при сдаче-приемке продукции средств измерений, прослеживаемых к государственным первичным эталонам, сможет обеспечить доказательство соответствия предъявляемым требованиям самих чистых помещений, как изделий или производств, так и изготавливаемой в них высокотехнологичной продукции. Приводится информация о контролируемых в чистых помещениях величинах, государственных поверочных схемах, включающих средства измерений этих величин и государственных первичных эталонах, возглавляющих соответствующие поверочные схемы.
Ключевые слова: чистые помещения, контролируемые среды, государственные первичные эталоны, прослеживаемость.
Цитируемая литература
1. Чистые помещения / под ред. И. Хаякава; пер. с японского под ред. Ржанова В.Г. и Ушакова В.И. М.: Мир.- 1990, 454 с.
2. Проектирование чистых помещений: пер. с англ. / под ред. В. Уайта. – М.: Клинрум, 2004. – 360 с.
3. ОСТ 11.14.3302-87. Общие требования электронной гигиены к чистым помещениям.
4. Рекомендации PIC — Guide to Good Manufacturing Practice Pharmaceutical Products. Document РН 5/89, September 1989. Соnvеntiоn fоr the Mutual Recognition of Inspection in Respect of the Маnufacturеr of Pharmaceutical Products.
5. FED-STD-209E Federal Standard. Airborne Particulate Сlеаnlinеss Classes in Cleanrooms and Сlеаn Zones. September 11, 1992.
6. ГОСТ ISO 9000-2011 «Системы менеджмента качества. Основные положения и словарь».
7. РД 64-125-91. Правила организации производства и контроля качества лекарственных средств (GMP).
8. МУ 42-51-4-93. Контроль микробной контаминации воздуха производственных помещений: Сб. МУ «Организация и контроль производств лекарственных средств. Стерильные лекарственные средство» (МУ 42-51-1-93, МУ 42-51-26-93). – М.: Минздрав.
9. Мартынов В.В. Современный взгляд на обеспечение чистоты в субмикронных производствах СБИС / В.В. Мартынов // Чистые помещения и технологические среды, 2002, № 1.
10. Балаханов М.В., Балаханов Д.М., Лесников Е.В. Проблемы чистоты технологических сред при производстве изделий электронной техники с субмикронной и нанометровой топологией // Нанотехнологии. Экология. Производство. 2012. № 5 (18). с. 72-75.
11. Лесников Е.В., Карпов О.В., Балаханов М.В., Балаханов Д.М., Данькин Д.А. Государственный первичный эталон единиц дисперсных параметров аэрозолей, взвесей и порошкообразных материалов ГЭТ 163-2010 // Измерительная техника. 2013. № 1. С. 3-6.
12. Карпов О.В., Лесников Е.В., Балаханов М.В., Балаханов Д.М., Данькин Д.А. Методы измерений характеристик наночастиц и их дисперсных параметров, применяемых в эталонной аппаратуре // Российские нанотехнологии. 2013. Т. 8. № 5-6. С. 92-97.
13. Лесников Е.В., Балаханов М.В., Балаханов Д.М. Методы и средства измерений дисперсных параметров частиц взвесей субмикронного и нанометрового диапазона // Измерительная техника. 2015. № 1. c. 61-68.
14. Балаханов М.В. Методы и средства измерений дисперсных параметров аэрозолей и взвесей // Физические основы приборостроения. 2017, т. 6, № 1 (23), с. 2-33.
Статья в Научной электронной библиотеке eLIBRARY.
Оформить подписку и купить печатные номера журнала у издателя.